纳米加工中,激光干涉测量可以达到纳米级的测量分辨率和重复精度,可以满足测量要求,而 X 射线干涉测量法重生精度不足,不满足测量要求。 选项: A:正确 B:错误 测量 分辨率 不满足 发布时间:2024-06-14 16:26:50